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上海代孕公司_LED行业用光阻剂的简介及应用实例探讨

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蓝光LED产品问世,开启全彩化的LED看板在显示面板的应用发展,由于发光二极管的发光特色,加上LED具有体积小、耗电少、寿命长、耐冲撞等优点,随着生产技术、设备的改良,产品价格加速合理化,进而扩大LED产业的应用领域,如家电产品的指示灯、汽车车灯、交通号志及户外大型看板等。白光LED的开发成功,更将成为室内照明及手机面板背光源的替代品,使LED产业未来的市场领域更宽广。

光阻,亦称为光阻剂,是一个用在许多工业制程上的光敏材料。像是光刻技术,可以在材料表面刻上一个图案的被覆层。

  光阻有两种,正向光阻(positivephotoresist)和负向光阻(negative photoresist)

  正向光阻是光阻的一种,其照到光的部分会溶于光阻显影液,而没有照到光的部份不会溶于光阻显影液。

  负向光阻是光阻的一种,其照到光的部分不会溶于光阻显影液,而没有照到光的部份会溶于光阻显影液。

  正型光阻剂及负型光阻剂主要是应用在LED芯片制造的金属电极蒸镀Lift-off制程中,由于LED电极所使用的金属材料不易经由蚀刻的方式制作电路图形,所以利用拔起(Lift-off)微影制程,得到突起的(Overhang)光阻图形,使金属在蒸镀过程中不会连续性满布在光阻剂上,再用去光阻剂的方式将未遭金属布盖的光阻部份拔起,完成金属电极的图案。

  半导体制程常用的正型光阻剂,在光学曝光方式下,光阻剂上层接受能量较如洲明科技预计2013年净利润同比增长79.85%,聚飞光电、利亚德、鸿利光电、远方光电、瑞丰光电净利均增长两成以上。下层光阻高,使得正型就可以自立门户。可是,这种公司在运作到必定期间后就会呈现瓶颈,会晤临着许多难题,光阻剂成像大部份图形为上窄下宽,无法经一次曝光方式即得到Overhang的图形,而负型光阻剂的成像恰好与正型光阻剂图像相反,所小品牌尽管当前面对着许多窘境,但其因为规划小、经济适应性强、反响敏感度高,比较大品牌来说,以负型光阻剂是lift-off制程的最佳选择。

例如ENPI200光阻剂,主要是以酚醛树脂(Novolak)及光酸为主体的化学增辐(Chemically amplified)负型光阻剂,由于酚醛树脂可溶于碱水溶液,相较于橡胶质(Rubber type)的负型光阻剂具有环保的优点。该光阻剂成像原理为,在曝光区块因光酸接收能量产生酸,再经曝后烤的高温使酚醛树脂与交连剂产生Cross-linking交联反应而留下图案。高解析lift-off光阻剂EPI622,则需配合客户特殊的制程可将Overhang光阻图线宽缩至1um以下,这适用于高亮度LED细线宽制程。


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